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我们为半导体洁净度检测产业提供

一站式技术服务

多种试验设计应对各种污染物

专业为客户提供一站式服务

  • 颗粒物

  • 有机污染物

  • 金属污染物

  • 其他化学物质

  • 平面设计系统
  • 单台结构功能设计
  • 供排水系统
  • 电控系统
  • 气体输送系统
  • 有害气体输出系统
SEMI F57标准介绍

专业为客户提供一站式服务

  • SEMI F57用于超纯水和液态化学品输送系统的聚合物材料及组件的规范文件。标准规定了在UPW分配系统中输送超纯水(UPW)的超高纯度(UHP)聚合物材料和组件的最低性能要求。主要针对聚合物材料和组件的性能要求和验证。

    国际半导体产业协会SEMI为半导体制程设备提供了一系列环境、安全和卫生方面的准则,适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。半导体先进制程工艺中使用的超纯水,超纯化学品的使用要求日益提高,材料的选择在半导体湿法工艺中越发重要,对含氟聚合物的纯度要求也越来越高。SEMI F57标准对UHP液态化学品输送系统(LCDS)中高聚合物材料和组件的选择、生产过 程、产品结构设计等各方面均提出了要求和有效建议。

SEMI F57标准适用产品

专业为客户提供一站式服务

  • 半导体超纯水

    液态化学品传送系统中的聚合物材料、组件及过程设备

  • 管道、配件、阀门、过滤壳体、压力传感器、流量计、计量器、校准器

SEMI F57测试项目

专业为客户提供一站式服务

  • 阴离子污染

  • 总有机碳TOC

  • 金属离子污染

  • 表面粗糙度

服务流程

为每一位客户定制专有服务方案

为什么要选择英格尔

为每一位客户定制专有服务方案

关于我们

打造一流客户服务体验

  • ICAS英格尔自2000年创立以来,切实把握国家战略需要、着眼行业痛点,构建“国家+企业双轮驱动”的业务战略格局,在质量保证、清洁能源、创新研发、市场服务、企业服务和战略合作等领域多元化发展,突破行业业务模式,打造开放式创新赋能平台。

    未来,ICAS英格尔将继续坚持需求驱动发展,创新铸就未来,打造一流的客户服务体验,让每一位客户实现“加速业务成长,提升核心竞争力,共创可持续发展”。

我们的资质

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英格尔,聚力价值信任
  • 标准规范
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  • 合作伙伴
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  • 仪器设备
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  • 集团优势

恪守全球标准规范

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